1.光源系統:光源採 LED 冷光可微調,可程式控制雙向光源。( 綠色透射燈源及白色俯射燈源 )。
2.測量精度:XY (3.0+L/200) µm;重現性:≤0.002mm。
3.採用 Hexagon 高精度光學尺 (0.0005mm)。
4.選配功能:
- Seven Ocean 可升降分區旋轉燈源系統。
- 美國 Navitar 自動變焦 (變倍) 系統。
- 雷射位移感測系統 (日本 KEYENCE Li-CCD 雷射測頭)。
5.電源需求:115-230V±10% (AC),50/60Hz (用電設備要求接地可靠:接地電阻小於4歐姆)。
6.工作環境:20℃±2℃,最大溫度梯度 ﹤1℃/hr,濕度45%~75%,震動﹤0.002g,低於15Hz。